主要用于电子、光学、涂料、化工等行业。在电子行业，可以用于测量印刷线路板、半导体材料的膜厚；在光学行业，可以用于测量消费电子产品如手机、电视等设备的涂层厚度；在涂料和化工行业，可以用于测量各种涂料和化学剂的膜厚

可以应用于各类无色膜层的测试

SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理进行无损测量，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，同时搭配R-Theta位移台，兼容6到12寸样品，可以对整个样品进行快速扫描，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，并对于膜厚均匀性做出评价

主要功能：测试材料膜材的厚度

主要技术指标：核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析，膜厚重复性测量精度：0.02nm，全自动测量，测量点数跟位置在Recipe中可根据需要编辑 ，测试波长；380nm-1050nm，FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息。